晶体生长

晶体生长

 

    ROBO 为硅、锗、蓝宝石提纯重结晶等生产应用领域提供特殊设计的高稳定输出型感应加热系统。其输出功率稳定性可达 0.1% ,分辨率达 0.02% 。并有特殊的内部回路,确保输出功率不受电网波动以及其它条件变化影响,实现对晶体生长高稳定度的工艺要求。

    本类应用,一般采用RS485接口,和外部控制系统进行全数字化的通讯,常规的模拟量通讯方式会降低系统功率输出的稳定型。

    系统经过经阻抗匹配设计,可适合各种坩埚舟,例如石墨坩埚、铂金坩埚、铱坩埚等。

    也可以采用单机多输出类型,同时输出多路功率,同时对多个石墨舟等对象进行加热提纯。

    更多的信息,请联系我们。 

 

               

                                                                                                     

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